1:電子級超純水標準
目前,電子級超純水的標準主要包括以下幾個(gè)方面: 1.電阻率:電子級超純水的電阻率必須大于18.2MΩ*cm,以確保其較低的離子濃度和較高的純度。 2.微生物:電子級超純水中微生物的數量應小于10個(gè)微生物/毫升,以保證其高純度。 3.有機物:電子級超純水的有機物含量應小于0.5 ppb,以防止其對電子元器件產(chǎn)生影響。 4.顆粒物:電子級超純水中顆粒物的大小應小于0.2微米,以確保其不會(huì )對微電子元器件造成損害。
2:電子級超純水工藝特點(diǎn)
由于電子級超純水對微電子元器件的質(zhì)量和性能有著(zhù)至關(guān)重要的影響,因此在生產(chǎn)過(guò)程中必須要嚴格控制其質(zhì)量和純度。遵循國際標準生產(chǎn)和銷(xiāo)售的電子級超純水,能夠提高電子元器件的生產(chǎn)工藝和產(chǎn)品質(zhì)量,為電子工業(yè)的發(fā)展打下堅實(shí)的基礎。
電子級超純水工藝采用:二級RO+EDI+氮封水箱+拋光混床+UV殺菌+電子級微孔過(guò)濾器組成,終端管道采用進(jìn)口材質(zhì)Clean-PVC管道保證潔凈度要求;并配套TOC檢測儀,顆粒度檢測儀等儀表在線(xiàn)檢測水質(zhì)情況。
產(chǎn)水量可達到0.5噸-200噸/小時(shí)。
3:電子級超純水設備圖片